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歐洲進(jìn)口工業(yè)設(shè)備
五金工具建材
機(jī)械
滲透膜伸縮片設(shè)備變速箱儲(chǔ)能器攪拌器均質(zhì)機(jī)束帶綁扎機(jī)摩托備件油霧探頭機(jī)器人卡盤撇油器磨床打包機(jī)制動(dòng)器封口機(jī)馬弗爐工業(yè)爐高溫爐叉車挖掘機(jī)快換系統(tǒng)起重機(jī)卷簧機(jī)工控振動(dòng)器渦輪機(jī)傳動(dòng)攪拌發(fā)動(dòng)機(jī)風(fēng)扇絲桿聯(lián)軸器風(fēng)機(jī)換熱器清洗驅(qū)動(dòng)器干燥器軸承馬達(dá)氣缸纏繞機(jī)執(zhí)行加熱器膨脹罐減速機(jī)控制器模塊電磁吸盤真空包裝機(jī)油缸過(guò)濾器壓縮機(jī)機(jī)床切割機(jī)噴砂張緊器輸送機(jī)制氧機(jī)離合器吸塵器增壓分離液壓制動(dòng)上料輸送柱塞泵閥儀表
儀器儀表
模擬盒藥物測(cè)試安全表校準(zhǔn)器組合式測(cè)試設(shè)備控制系統(tǒng)硬度計(jì)熱交換器掃描器沾污儀紫光源混合器萬(wàn)用表百分表風(fēng)速儀分度盤放大器六分儀熱像儀拐檔表數(shù)顯表檢測(cè)儀木材測(cè)濕儀電子秤靜電消除器真空計(jì)壓力表進(jìn)樣器移液器剩磁探測(cè)測(cè)試儀擺動(dòng)缸濾芯測(cè)力計(jì)打標(biāo)機(jī)試驗(yàn)機(jī)混合機(jī)平衡器溫控器壓力氣壓張力能量計(jì)報(bào)警器測(cè)距儀定位器熒光儀編碼器注射器打印機(jī)液位計(jì)折光儀流量計(jì)感應(yīng)機(jī)探測(cè)器檢測(cè)器超聲波發(fā)生器濕度計(jì)傳感器聯(lián)軸器烘烤設(shè)備檢漏儀制冷機(jī)輻射測(cè)溫傳輸探頭光譜儀射線干燥器發(fā)射器指南針印刷設(shè)備操作面板顯示器粘度計(jì)量塊調(diào)節(jié)器采樣記錄儀油位計(jì)料位計(jì)冷卻分析溫度計(jì)壓差測(cè)量發(fā)生器電子電工
壓力開關(guān)
實(shí)驗(yàn)室設(shè)備
| 芬蘭KxS Technologies半導(dǎo)體晶圓化學(xué)監(jiān)測(cè)技術(shù)概述 |
| 點(diǎn)擊次數(shù)：364 更新時(shí)間：2025-08-28 |
芬蘭KxS Technologies半導(dǎo)體晶圓化學(xué)監(jiān)測(cè)技術(shù)概述 KxS Technologies是一家專注于高精度工業(yè)過(guò)程監(jiān)測(cè)技術(shù)的企業(yè)，其半導(dǎo)體晶圓制造用化學(xué)監(jiān)測(cè)儀基于折射率測(cè)量原理，用于化學(xué)品濃度與混合物比例的實(shí)時(shí)分析。該類設(shè)備適用于半導(dǎo)體工廠多種濕法工藝環(huán)節(jié)的化學(xué)液監(jiān)測(cè)。 一、產(chǎn)品系列與主要型號(hào) KxS Technologies的主要產(chǎn)品類型包括以下： 化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀 slurry密度檢測(cè)系統(tǒng) 蝕刻液濃度監(jiān)測(cè)模塊 清洗液配比監(jiān)測(cè)系統(tǒng) CMP漿料稀釋控制單元 光刻膠處理監(jiān)測(cè)設(shè)備 濕法刻蝕終點(diǎn)檢測(cè)儀 化學(xué)品輸送管道在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng) 工藝槽液濃度控制單元 晶圓清洗液濃度監(jiān)測(cè)裝置
該品牌目前公開的主要型號(hào)有： DCM-10 RIM-2000 CCM-3000 SDS-500 EMM-400 SCM-200 WCM-1000 BMM-600 TMM-750 PCM-800
二、產(chǎn)品介紹與技術(shù)特性 以DCM-10型號(hào)為例，該設(shè)備為在線式化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)儀，采用原位折射率測(cè)量技術(shù)。其工作原理基于特定波長(zhǎng)光源通過(guò)被測(cè)液體后發(fā)生的折射現(xiàn)象，通過(guò)折射角變化與物質(zhì)濃度之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系，推算出化學(xué)品的實(shí)時(shí)濃度。
技術(shù)參數(shù)包括： 測(cè)量范圍：1.3200–1.5300 RIU 分辨率：±0.0001 RIU 溫度補(bǔ)償范圍：0–100°C 輸出接口：4-20mA/Modbus TCP 防護(hù)等級(jí)：IP67 接液材質(zhì)：PTFE/Hastelloy
三、技術(shù)特點(diǎn) 多化學(xué)品兼容 可測(cè)量多種常見(jiàn)半導(dǎo)體化學(xué)品，包括氫氟酸、雙氧水、氨水、硫酸等腐蝕性介質(zhì)。 實(shí)時(shí)在線測(cè)量 設(shè)備直接安裝于工藝管道或槽體，實(shí)現(xiàn)工藝流程中不間斷監(jiān)測(cè)，減少人工取樣需求。 耐腐蝕結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 采用全氟醚密封與哈氏合金接液部件，適應(yīng)強(qiáng)酸強(qiáng)堿環(huán)境下的長(zhǎng)期使用。 溫度補(bǔ)償功能 內(nèi)置溫度傳感器，自動(dòng)校正溫度變化對(duì)測(cè)量值的影響。 數(shù)據(jù)通訊能力 支持工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)通訊協(xié)議，可與FAB廠的MES或SPC系統(tǒng)進(jìn)行數(shù)據(jù)集成。
四、應(yīng)用領(lǐng)域 該類監(jiān)測(cè)儀可適用于以下制造環(huán)節(jié)： CMP工藝中 slurry濃度的調(diào)配與監(jiān)測(cè) 濕法刻蝕過(guò)程中蝕刻液濃度的實(shí)時(shí)控制 晶圓清洗環(huán)節(jié)SC-1/SC-2等清洗液配比驗(yàn)證 光刻膠去除工藝中化學(xué)品活性維持 化學(xué)品配送系統(tǒng)的濃度校驗(yàn)
結(jié)語(yǔ) 基于折射率測(cè)量的化學(xué)濃度監(jiān)測(cè)技術(shù)為半導(dǎo)體制造提供了連續(xù)測(cè)量的可能性，有助于晶圓廠保持工藝穩(wěn)定性。KxS Technologies的相關(guān)產(chǎn)品在該技術(shù)路徑上形成了系列化設(shè)備，可適應(yīng)多種濕法化學(xué)工藝場(chǎng)景的監(jiān)測(cè)需求。 |
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