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德國MechOnics壓電式納米定位臺的結(jié)構(gòu)通常包括壓電陶瓷作為驅(qū)動源，結(jié)合柔性鉸鏈機構(gòu)實現(xiàn)X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸等多自由度的精密運動。MechOnics壓電式納米定位臺這種結(jié)構(gòu)設計使得壓電納米定位臺具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器后，可實現(xiàn)納米級分辨率及定位精度。
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